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壓力傳感器芯體

小尺寸MEMS硅壓阻式高精度壓力傳感器芯體,恒壓恒流供電

作者:羅工????來源:俊德科技????發布時間:2020-04-04 19:34:57????瀏覽量:

小尺寸MEMS壓力傳感器芯體
是基于MEMS(微機電系統)技術的硅壓阻式傳感器,是一款高穩定性,高精度的壓力測量芯體。直徑12.6mm,有帶螺紋接頭選項。

特點:壓力量程10Kpa-10Mpa,mV輸出,高低溫補償 ,差壓表壓或絕壓。提供恒流供電和恒壓供電兩種模式。

             Pressure range 10Kpa-10Mpa, mV out put, temperature 

             compensated, Differential Gage or Absolute

應用:自動化控制 壓力儀表 液位測量 壓力變送器等

Applications: Process control,  Pressure instruments, Liquid level, 

                           Pressure Transducers
 

恒流源產品技術參數 (激勵電流1.5mA, 25℃下預熱10分鐘)
參數   典型值  
精度(%FS)      
非線性1   ±0.10 ±0.20
遲滯2   ±0.05 ±0.10
重復性3   ±0.05 ±0.10
輸出(mV)      
零點輸出 -2 ±1 2
滿量程輸出(FS) 70    
溫度特性      
工作溫度(℃) -40   125
補償溫度(℃) 100Kpa 0   70
>100Kpa -10   70
零點溫度誤差(%FS)4   ±0.75 ±1.0
滿量程溫度誤差(%FS)4   ±0.75 ±1.0
溫度遲滯(%FS)5   0.1  
長期穩定性(±%FS/年)      
零點   0.1  
滿量程   0.1  
供電電流(mA) 0.5 1.5 2
輸入阻抗(kΩ) 2.0 2.5 3
輸出阻抗(kΩ) 2.5 3.0 3.7
輸出負載電阻(MΩ)6 5    
絕緣電阻(MΩ/100V)7 100    

 

恒壓源產品技術參數(激勵電壓10VDC, 25℃下預熱10分鐘)
參數   典型值  
精度(%FS)      
非線性1   ±0.10 ±0.20
遲滯2   ±0.05 ±0.10
重復性3   ±0.05 ±0.10
輸出(mV)      
零點輸出 -2 ±1 2
滿量程輸出 < 7Mpa 98 100±1 102
7Mpa 147 150±1.5 153
溫度特性      
工作溫度(℃) -40   125
補償溫度(℃) 100Kpa 0   70
>100Kpa -10   70
零點溫度誤差(%FS)4   ±0.75 ±1.0
滿量程溫度誤差(%FS)4   ±0.75 ±1.0
溫度遲滯(%FS)5   0.1  
長期穩定性(±%FS/年)      
零點   0.1  
滿量程   0.1  
供電電壓(VDC)   10 14
輸入阻抗(kΩ) 6.0 8.0 10.0
輸出阻抗(kΩ) 2.5 3.0 3.7
輸出負載電阻(MΩ)6 5    
絕緣電阻(MΩ/100V)7 100    
壓力量程 0-100Kpa…7Mpa(詳見選型表)
壓力過載 ≤4Mpa 2倍
7Mpa 1.5倍
壓力介質 與316L不銹鋼兼容的液體、氣體和蒸汽


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